主營產品：代理銷售：HORIBA堀場橢圓偏振光譜儀、HITACHI日立科學儀器光譜儀、OTSUKA大塚電子、MIKASA勻膠機、yamada山田鹵素強光燈、KOFLOC小島流量計、REVOX光箱、日本SSD防靜電、HITACHI日立金屬流量計、SIBATA柴田科學、日本ULVAC愛發科泵、CEDAR思達扭力計、TORAY東麗氣體濃度計、KOSAKA小坂臺階儀、TOKYOKEISO東京計裝流量計、AND愛安德、RYUKI東京流機流量計、IMV愛睦威地震儀、TSUBOSAKA壺坂電機、MITAKA三鷹光器、日本KURABO倉紡濃度計.

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半導體專用設備MA-60F光刻機日本MIKASA株式會社MIKASA米卡薩

日本MIKASA株式會社對準曝光機：提供技術支持，安裝，培訓！MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、日本MIKASA株式會社旋轉涂布機：MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（密封）日本MIKASA株式會社顯影刻蝕裝置：AD-1200AD-3000ED-1200ED-3000

*大電路板尺寸
φ6英寸顯微鏡分辨率使用物鏡20×時
1.2μm
*大基板厚度
2㎜
*大蒙版大小
7×7 英寸對齊
間隙長度測量功能標準設備
紫外線燈屋
集成器類型
照度
＞18mW/c㎡(at405nm) 操縱器
移動范圍 X/Y ± 5mm 微動 1/8mm 1 圈
θ：70° 微動±7°
Z：4mm（氣動驅動分鐘 1mm/粗動
3mm）
微動 0.16mm
照度均勻性＜±5.0％
曝光光源 UV 燈 250W
十字級
移動范圍 X/Y ±20mm
曝光波長寬帶（g、h、i 線）
曝光計時器 0~999.9秒定時器設置式
1~9999計數
累計光量計數器式
切換方式氣壓用于掩膜級 0.5MPa
氮氣 N2 吹氣用 0.5MPa
UV 燈
退化補償功能標準設備真空掩模和基板吸附用
-0.08MPa
如何聯系
軟觸點
/硬觸點除振臺標準設備
電源 AC100～110V 50/60Hz 20A
對齊范圍
雙視場顯微鏡
物鏡間隔 18-60mm 外部尺寸
（包括 mm/除振臺） 1130W×1650H×800D
重量 360㎏

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