手動(dòng)型

UNECS 系列

UNECS?Portable

ULVAC

手動(dòng)型

UNECS 系列

UNECS-1500M

ULVAC

自動(dòng)型

UNECS 系列

UNECS-1500A

ULVAC

自動(dòng)型

UNECS 系列

UNECS-2000A

ULVAC

自動(dòng)型

UNECS 系列

UNECS-3000A

ULVAC

嵌入型

UNECS 系列

UNECS-1M

ULVAC特點(diǎn)
高速測(cè)定：
獨(dú)特的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。
適用于可見(jiàn)光譜：
波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型（530nm至750nm）和可見(jiàn)光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒(méi)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。
豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如獨(dú)特的便攜類型，手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測(cè)量
規(guī)格
波長(zhǎng)范圍 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（選擇）
點(diǎn)徑 Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度 70o固定
膜厚再現(xiàn)性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍 1nm ～ 2μｍ
測(cè)量時(shí)間 受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平臺(tái) 固定類型（Φ150mm以下、可拆卸）
控制PC 筆記本類型（帶操作/分析軟件）
機(jī)器構(gòu)成 測(cè)量本體（帶固定臺(tái)）、控制器BOX、光源單元
操作PC（筆記本型）、使用說(shuō)明書（CD）

選型

標(biāo)準(zhǔn)樣品

100? SIO₂/Si

ULVAC