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日本MIKASA株式會社/米卡薩中國現貨代理


日本米卡薩MIKASA株式會社中國現貨代理


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半導體制造工序中的Mikass半導體設備

為半導體制造工序提供支持的Mikasa


備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務。另外,為旋轉涂膜儀的所有機型準備了替代用機,可在發生故障時盡早應對,且在銷售后提供快捷周到的售后服務。針對研究過程中所發生的一系列問題,也可在現場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現了問題、應如何改進等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個可在半導體方面進行共同商談的咨詢顧問,不僅銷售設備,而是為客戶半導體制造的整體工藝流程


晶圓→洗滌(**晶圓表面的臟污及各種金屬離子)→成膜(在高溫擴散爐中,形成表面氧化膜)→光刻膠涂布(將光刻膠(感光材料)涂抹到晶圓表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(將光掩膜與晶圓重合,復制電路圖案)→顯影(去除曝光部位(正膠)的光刻膠)→蝕刻(通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路)

日本MIKASA旋轉涂膜儀SpinCoater.


光刻膠涂布/將光刻膠(感光材料)涂抹到晶園表面,形成厚度均一-的薄膜。






旋轉涂膜儀
滴液裝置可選組件 吸盤
●MS-B100/ MS-B150
●MS-B200
●MS-B300
●MS-B200 (密閉型)
●MS-B300 (密閉型)
日本MIKASA光刻機
●MA-10
●MA-20
●MA-60F
●M-2LF
●M-1S
日本MIKASA曝光,將光掩膜與晶園重合,復制電路圖案。


日本MIKASA顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
●AD-1200
●AD-3000
●PD-1000

日本MIKASA蝕刻裝置
蝕刻裝置
●ED-1200
●ED-3000
日本MIKASA旋轉涂布機MS-150
MIKASA 旋轉涂布機 MS-A150/MS-B150 **現貨
代理MIKASA旋轉涂布機SpinCoater MS-B200
日本MIKASA旋轉涂布機MS-A150/MS-B150 **現貨



為半導體制造工序提供支持的Mikasa
備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務。另外,為旋轉涂膜儀的所有機型準備了替代用機,可在發生故障時盡早應對,且在銷售后提供快捷周到的售后服務。針對研究過程中所發生的一系列問題,也可在現場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現了問題、應如何改進等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個可在半導體方面進行共同商談的咨詢顧問,不僅銷售設備,而是為客戶半導體制造的整體工藝流程給出支持。

代 理日 本各類工業品:日本SAN-EI TECH三英,MUSASHI武藏,Nordson諾信EFD,IEI巖下,aicohsha愛工舍ACM(特殊立式攪拌機),KLEENTEK可濾特,ASAHIKASEI旭化成,TAGAWA十川,YODOGAWA淀川電機,MALCOM馬康,USHIO牛尾,SHOWA DENKI昭和電機,TSUBAKI椿本,morite茉麗特,KIKUSUI菊水,HOZAN寶山,TRUSCO中山,cedar思達,MEISEI邁澤(電熱剝線器)、SANKO山高(金屬探測器、膜厚儀)、TAKASAGO高砂制作所 (直流電源)MITSUBISHI三菱 (UPS電源、PLC自動化)
CCS光源(視覺光源、檢查光源)、Tsubosaka壺坂(燈箱、光度計、輝度箱、光源)、POLARION普拉瑞(探照燈、HID強光燈、檢查燈)AITEC艾泰克(檢查光源)、Iwasaki巖崎(金鹵燈、HID燈、UV燈)
OTSUKA大塚電子(光學膜厚儀、相位差測試儀、粒度儀)、LUCEO魯西歐(表面應力儀、偏光應力儀)
KYOWA共和(應變片、壓力傳感器)、ONOSOKKI小野測器(傳感器、檢測儀)
CKD(氣動元件、電缸)、FUJIKURA藤倉(單向閥、泄壓閥、摩擦氣缸)
TOKISANGYO東機產業(粘度計)、ASKER高分子計器(橡膠硬度計、試驗機)SK新瀉精機(水平尺、水平測量儀器)SKSATO佐藤(溫度計、溫度記錄儀)、上海一恒儀器 (恒溫箱、烘箱、)、TECLOCK得樂(硬度計、千分表)、AND愛安得(電子天平、工業天平)、KEM京都電子(水分儀、自動電位滴定儀)
TOHNICHI東日(扭力扳手、螺絲刀)KANON中村(電動螺絲刀、扭力工具)
Heishin神兵(泵、點膠機)、KOKUSAN科庫森離心機、YUASA湯淺(柔性屏彎折試驗機)、
SIMCO思美高,SSD西西蒂,DIT東日技研,KASUGA春日,TRINC高柳(靜電儀器設備)、Kanetec強 力(磁力設備、高斯計)
ASONE亞速旺(實驗室儀器、車間穿戴裝備)、SAKURAI櫻井(無塵紙、熱敏紙)、Nitto-Kohki日東工器(快速接頭)、NIRECO 尼利可(電動執行器、傳感器)



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