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博曼Bowman XRF測厚儀M系極小斑點的測量
產品型號: M系列
產品品牌:Bowman美國博曼
產品介紹:

美國博曼(Bowman)是高精度臺式鍍層測厚儀供應商,擁有近40年的行業經驗。博曼XRF系統搭載擁有自主知識產權的鍍層檢測技術和先進的軟件系統,可精準高效地分析金屬鍍件中元素厚度和成分。XRF系統可同時測量包含基材在內的五層元素,其中任何兩層元素可以是合金。同時,博曼XRF系統也可以測量高熵合金HEAs博曼XRF鍍層測量系統滿足業界對精度,可靠性和易用性的嚴格要求。

詳細介紹



M系列 是用于*小特征的高性能電鍍厚度測量的**產品。 M系列中的多毛細管光學元件比 O系列,將 X 射線束聚焦到 7.5μm FWHM。 為了在該尺度上測量特征,包括具有更高數碼變焦的 140 倍放大率相機。 隨著放大倍數的增加,視野變得更加受限,因此**臺相機拍攝要測量的零件的宏觀圖像。 雙攝像頭系統允許操作員查看整個零件,單擊圖像以使用高磁力攝像頭放大,并**定位要測量的特征。

高精度可編程XY平臺可用于選擇和測量多個點; 模式識別軟件也可以自動執行該操作。2-D連續掃描功能可查看硅片等部件表面區域的涂層形貌。

標準配置包括7.5μm光學器件和高分辨率SDD檢測器,用于處理更高的計數率。 可編程XY樣品臺也是標準配置。 光學系統的焦距很近,因此使用M系列測量的樣品必須平坦。

現在提供擴展階段選項



性能表現

鎳鈀金 化學鎳
微米金 微米鈀 微米鎳 微米NiP 微米%P
Ave 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
StdDev 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
范圍 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
%RSD 1.05% 1.13% 0.03% 1.07% 2.85%




  

  


產品規格

X射線管: 50 W Mo 目標 Flex-Beam 毛細管光學器件 @15 FWHM 在 17 KeV
探測器: 135eV分辨率的硅漂移探測器
分析層數
及元素數:
5層(4層+基材) 每層可分析10種元素,成分分析*多可分析25種元素
濾波器/準直器: 4位置一次濾波器
輸出焦深: 固定為0.15英寸(3.81毫米)
數字脈沖處理: 4096 多通道數字處理器,自動死時間和逃逸峰校正
計算機: 英特爾, 酷睿 i5 3470 處理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 內存, 微軟 Windows 10 專業版, 64位
相機: 1/4英寸(6毫米)CMOS-1280×720 VGA分辨率,在250毫米(45英寸)屏幕上,雙攝像頭為381倍,單攝像頭為15倍
視頻放大倍率: 140X 微型、7X 數字變焦、9X 微距和表格視圖
電源: 150W,100-240V,頻率范圍為47Hz至63Hz
工作環境: 溫度介于68°F(20°C)與77°F(25°C)之間,相對濕度小于98%,無冷凝
重量: 70kg
可編程XY平臺: 工作臺尺寸:431毫米(17英寸)x 406毫米(16英寸)| 行程:165毫米(6.5英寸)x 165毫米(6.5英寸)高精度
現在可用 擴展 舞臺選擇
樣品倉尺寸: 高度:137mm(5.4"),寬度:310mm(12"),深度:340mm(13")
外形尺寸: 高度:500mm(20"),寬度:450mm(18"),深度:600mm(24")

X射線管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
陽極靶材 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠 鎢/鉻/鉬/銠
X射線照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探測器
SDD硅漂移探測器 普通 普通 普通 普通 普通 普通
大窗口硅漂移探測器 可選 可選 可選 可選 可選 可選 普通 普通 普通
光斑尺寸
單個準直器 普通 普通
多個準直器 可選 普通 普通 普通
毛細管光學結構 可選 即將推出! 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自動聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
單個固定焦距 普通 普通 普通  普通 普通 普通
可變焦距 可選 普通 普通 普通
視頻放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通
55X 微型 可選 可選 可選 可選 可選 普通
140X 微型 普通 普通 普通
7倍數碼變焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 普通 普通 普通
表格檢視 可選 可選 普通 普通 普通
平臺&外形尺寸
Z軸控制方式 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 自動表 可編程 可編程
Z軸行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 固定 可編程 可編程 可編程  可編程 可編程 可編程 可編程
標準XY行程 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可選XY行程 1.5 × 1.5" 10 × 10"  10 × 10"
可選的Max XY Travel 16 × 16"  16 × 16" 16 × 16"
平臺精度 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
樣品倉尺寸(高*寬*深) 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
總重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg

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