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ULVAC愛發科冷陰極電離真空計VCT技術

產品型號： VCT技術

產品品牌：ULVAC愛發科

產品介紹：

ULVAC愛發科面向顯示器、太陽電池、半導體、電子、電氣、金屬、機械、汽車、化學、食品、醫藥等行業以及大學、研究所等，提供真空設備、周邊機器、真空部品、材料的開發、制造、銷售、客戶服務等，以及各種器械的進出口業務。此外，提供各種真空技術相關的研究指導和技術顧問服務。

詳細介紹

華東供應國內總代日本直發原裝進口日本ULVAC愛發科冷陰極電離真空計VCT技術國內各區域均有售

G-TRAN系列真空計是基于（1）降低設備成本，（2）節省空間，（3）減少布線的理念開發的，以實現各種設備的過程控制的集中化和小型化。

它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可根據應用進行組合。

長處

測量元件與測量電路的集成結構
模擬和設定值輸出
獨立的偽對數輸出和設定值輸出（顯示單元）
48 x 96mm DIN 標準尺寸（顯示單元）

用

用于半導體、電子元件等各種制造設備的過程控制
用于窯爐等各種工業設備的過程控制
用于對具有許多工藝室的各種制造設備進行工藝控制，例如直插式和單晶圓型

規范

類型		傳感器單元
型		VCT技術
自適應測量元件		C-21、23、24、25
測量壓力范圍		1.0×10^-5 ~ 1.0 帕
測量精度		+100%， -50%（1.0×10^-4 ~ 1.0×10^-1）
工作溫度范圍		10 ~ 40°攝氏度
測量值輸出		非線性輸出：DC0V~10V（HV-OFF時為10V）
SETPOINT1/2 調節輸出		非線性輸出：DC0~10V
控制輸入信號		高壓開/關
輸出信號		集電極開路，負邏輯
控制輸出信號		放電確認/設定值 1/2
LED指示		電源，高壓，壓力保護，設定值 1/2
權力		DC24V±2V、150mA
輸入/輸出連接器		D-sub - 15 針（M2.6 螺絲）
體重		430g（不含測量元件）
附屬品		1 個 I/O 連接器
		快速手冊 1 份

* IO 和模擬 GND 以及電源 GND 不是隔離的。

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華東供應國內總代日本直發原裝進口日本ULVAC愛發科冷陰極電離真空計VCT技術 國內各區域均有售

長處

用

規范

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