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MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發的用于高精度流量測量的新型質量流量計。
這種**型號采用新型低壓力毛細管流量傳感器，可確保高速響應和長期穩定性。

配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現高精度，高速響應
F.S.1 SCCM微流量支持（SR選項）

尺寸圖

標準規格

流量范圍（N2轉換20°C / 1 ATM）	1SCCM~20SLM（可選）
傳感器方式	熱繞組傳感器
響應速度	1秒內
準確性	±1％FS（15~35°C）
再現性	在±0.2％FS（20°C）內
耐壓	980kPa（G）
He泄漏率（* 1）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度	0~50℃
允許環境濕度	10~90%RH（無結露）
氣體接觸材料	車身SUS316L
氣體接觸材料	密封材料FKM（選件CR或NBR或Kallets）
電氣連接	Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準）
流量輸出信號	0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上）
所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA -15 VDC（±5％）100 mA
接頭（體型）	標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF）選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量	約800g

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。

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檔質量流量計

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尺寸圖

標準規格

MODEL 3100系列是基于MODEL 3200系列開發的用于高精度流量測量的新型質量流量計。
這種**型號采用新型低壓力毛細管流量傳感器，可確保高速響應和長期穩定性。