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KOSAKA小坂表面粗糙度非接觸式探測器
產品型號:半導體行業非接觸式探測器表面粗糙度測量機太原
產品品牌:KOSAKA小坂研究所
產品介紹:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年創業以來,一直以使用精密工程學技術被信賴的“技術”為口號,開發、銷售商品群。擁有以形狀測量機為中心的精密機器、以小坂研究所螺桿泵為中心的流體機器、以及半導體制造相關裝置、自動包裝機等自動設備三個領域。KOSAKA小坂螺桿泵,KOSAKA LABORATORY螺桿泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

詳細介紹


株式會社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年創立的公司,也是日本家發表光學杠桿表面粗糙度計,是一家具有悠久歷史與技術背景的業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。

設備特點:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。


KOSAKA小坂粗糙度儀,粗度計,粗度儀EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度輪廓一體機  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小壇輪廓儀   EF550A、EF800

KOSAKA小坂臺階儀,膜厚儀,薄膜測厚儀KOSAKA小坂圓度儀,真圓度儀,圓柱度儀 

KOSAKA小坂測量儀配件

KOSAKA小坂非接觸式表面形貌測量裝置

KOSAKA小坂微細深孔測量裝置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圓檢測裝置

KOSAKA小坂關節管測量儀

KOSAKA小坂探針卡檢測設備

KOSAKA小坂高精度貼片機SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂傳感器


非接觸式測量允許在不損壞樣品的情況下進行測量。 緊湊的光學布置可實現內徑的表面紋理測量,這是現有非接觸式探測器難以實現的。


  • 由于檢測到與焦點的偏差量,因此沒有根據形狀移動的部件,因此可以進行高速測量。
  • 由于激光的光強度可以分 20 步改變,因此甚至可以測量低反射率工件。
  • 自動停止功能可自動將探測器移動到焦點,無需聚焦
測量范圍 12~500微米
分辨率 0.2~0.5納米
光斑直徑在測量范圍內 約 1~25μm
測量精度 1%+0.03微米
重復性 10 納米
激光 *大輸出 2 mW,635 nm,1 級 (JIS C 6802:2011)


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