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產(chǎn)品類(lèi)目

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SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)X軸手動(dòng)納米平臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)： TADC-651SR25-M6PA

產(chǎn)品品牌：SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)

產(chǎn)品介紹：

通過(guò)在X軸手動(dòng)平臺(tái)本體上加裝壓電驅(qū)動(dòng)器來(lái)實(shí)現(xiàn)20nm以下的精密微調(diào)。適用于需要高分辨率定位機(jī)能的手動(dòng)平臺(tái)組件或系統(tǒng)。臺(tái)面尺寸有25x25，40x40，60x60mm，65x65mm等三種。

詳細(xì)介紹

SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)X軸手動(dòng)納米平臺(tái) / TADC-651SR25-M6PA

通過(guò)在X軸手動(dòng)平臺(tái)本體上加裝壓電驅(qū)動(dòng)器來(lái)實(shí)現(xiàn)20nm以下的精密微調(diào)。適用于需要高分辨率定位機(jī)能的手動(dòng)平臺(tái)組件或系統(tǒng)。臺(tái)面尺寸有25x25，40x40，60x60mm，65x65mm等三種。

無(wú)需對(duì)手動(dòng)納米平臺(tái)操作箱進(jìn)行設(shè)定即可進(jìn)行微調(diào)。可同時(shí)使用旋鈕和微分頭進(jìn)行微調(diào)和粗調(diào)，互不影響。
微調(diào)需要通過(guò)納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱(PASC)來(lái)進(jìn)行。手動(dòng)納米平臺(tái)附有一條用于連接納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱的2m長(zhǎng)電纜。

注意
安裝平臺(tái)時(shí)，一定要注意不要碰撞微分頭的對(duì)側(cè)擋板，以防對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)造成破壞。
關(guān)掉納米平臺(tái)手動(dòng)操作箱(OASC)電源后，壓電微調(diào)位置會(huì)發(fā)生變化。

臺(tái)面尺寸	65×65mm
手動(dòng)微調(diào)*小分辨率（參考值）	20nm以下
微分頭*小讀數(shù)	0.01mm
微分頭的安裝位置	側(cè)面
扭矩剛度/俯仰	0.3″/N?cm
扭矩剛度/轉(zhuǎn)動(dòng)	0.3″/N?cm
導(dǎo)軌形式	TSD導(dǎo)軌
移動(dòng)精度/直線(xiàn)度	3μm
移動(dòng)平行度	10μm
行程/周	0.5mm
*大承載力矩/俯仰	4.9N?m
*大承載力矩/偏擺	4.9N?m
*大承載力矩/轉(zhuǎn)動(dòng)	4.9N?m
自重	0.36kg
主要材料	鋁合金
粗調(diào)行程	±12.5mm
承載能力	49N(5kgf)
微調(diào)行程	30μm以上
表面處理	黑色氧化
平行度	30μm

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